- Утонение, шлифовка, полировка пластин
- Резка и скрайбирование пластин и подложек
- Совмещение и сращивание пластин
- Фотолитография
- Термические процессы
Свернуть
Развернуть
Отдельно стоящая автоматическая установка промывки пластин модели A-CS-100A является лучшим решением...
Установки промывки пластин компании Accretech оснащены поворотной головой для подачи воды. Благодаря подаче воды под высоким давлением (до 10МПа) и спреевому распылению данные установки позволяют добиться превосходных результатов по очистке пластин....
Лучшее решение для снятия разделенных кристаллов с рамки-носителя
Особенности данной установки:
- Специально разработанная вакуумная система, которая оттягивает пленку от кристаллов, сами кристаллы при этом остаются на сетке
- Кристалл остается на сетке до тех пор, пока оператор не снимет его ...
13 800
В установках УФ экспонирования пленок серии UVC могут использоваться 2 типа источников излучения – с...
Установки УФ экспонирования пленок на основе светодиодных ламп имеют высокую производительность (обеспечивают качество и скорость экспонирования) и являются хорошей альтернативой установкам с обычными для данной области применения галогенными и ртутными...
Установка TWC-200A подходит для автоматического удаления остатков резиста и частиц размером более 1...
TWC-200A – это полностью автоматическая система с кассетной загрузкой образцов, которая может использовать специальные химические растворы для повышения производительности и эффективности очистки.
Для осушения используется нагретая деионизирлванная...
Очистка фотошаблонов существенно влияет на качество конечного продукта. Накопленный компанией Techno...
Отличительные особенности:
- Быстрая очистка, отмывка и сушка фотошаблонов
- Прецизионная очистка с помощью специальных щеток, которые не оставляют царапин на поверхности и топологии фотошаблона
- Вертикальное размещение и ...
Установки серии ТЕХ-21 предназначены для растяжения пленки со спутника-носителя для получения равном...
Кремниевые пластины требуют тщательной обработки для обеспечения разделения пластины на кристаллы для предотвращения скалывания углов кристалла после процесса резки. Установки серии TEX-21 обеспечивают растяжение пластин путем равномерного растягивания...
Установки серии FM-224 позволяют работать с пластинами и подложками диаметрами до 300 мм
Ручные установки монтажа пластин/подложек на спутник носитель (рамка с пленкой) представлены широким рядом моделей, которые подойдут для научно-исследовательской деятельности и мелкосерийного производства для выполнения операций дисковой резки и утонения...
Отдельно стоящая автоматическая установка промывки пластин модели A-CS-300 является лучшим решением ...
Установки промывки пластин компании Accretech оснащены поворотной головой для подачи воды. Благодаря подаче воды под высоким давлением (до 10МПа) и спреевому распылению данные установки позволяют добиться превосходных результатов по очистке пластин....
Настольные системы УФ-озоновой очистки UV-208/UV-312 могут применятся для очистки поверхности полупр...
Системы УФ-озоновой очистки моделей UV-208 и UV-312 являются эффективным решением для модификации поверхности изделия, а также для удаления органических загрязнений с поверхности образца. Системы имеют простую структуру для проведения сухой очистки...
Полуавтоматическая установка дисковой резки SS10 - самая быстрая установка резки пластин до 150 мм п...
Отличительные особенности:
- Малая занимаемая площадь
- Совместима с различными типами материалов
- Стандартный шпиндель до 60 000 об/мин
- Увеличенная производительность...
Установки дисковой резки моделей SS20 и SS30 - новый стандарт полуавтоматических установок дисковой ...
Быстрая установка резки пластин до 250 мм при самых малых размерах. Обеспечивает высокую производительность при малой занимаемой площади. Дружественный интерфейс - простота и удобство работы с ПО
Отличительные особенности:
-
...
Установка S100 предназначена для скрайбирования и разделения алмазным наконечником очень хрупких кри...
ВВ установке используется последовательность надрез – разлом, это позволяет избежать загрязнения или повреждения кристалла. Во время скрайбирования для фиксации пластины используется майларовая пленка, после фиксации происходит разламывание пластины ...
Разделение или резка полупроводниковых пластин на отдельные чипы – одна из последних операцией в технологическом процессе их производства. Процесс резки пластин может быть выполнен тремя методами:
- Скрайбирование и последующий разлом.
- Дисковая резка.
- Лазерная резка.
Все методы резки пластин, как правило, автоматизированы, чтобы обеспечить точность и повторяемость процесса. Перед резкой пластины или подложки монтируются на специальную плёнку, имеющую клейкую поверхность. Плёнка может иметь различные свойства в зависимости от используемого процесса. Для маленьких чипов часто используется УФ-отверждаемая плёнка.
После резки пластин, плёнка растягивается. А затем отдельные кристаллы снимаются с плёнки и монтируются в устройства или перекладываются в носители (GelPack, WafflePack).