В конструкции установки предусмотрены оси с линейными двигателями (оси X и Y), основание поперечного перемещения и столик для крепления пластин/подложек. Дополнительно можно установить ось вращения (ось B), данная ось позволяет закрепить образец на рабочем столике под разным углом вращения.
Отличительные особенности:
Точная резка и гладкий край реза
- Превосходное качество реза
- Цилиндрический луч производит строго параллельные линии реза, отсутствие V-образного эффекта
- Гладкая поверхность реза и четкие края (радиус более 0.15 мкм)
- Отсутствие теплового воздействия на образец благодаря охлаждающей способности струи воды
Быстрота и точность
- Финишная резка поликристаллических алмазов и цементированного карбида размером 1.6 мм со скоростью до 5 мм/мин. Ограничения по толщине отсутствуют.
- Высокая механическая точность с допуском менее +/- 3 мкм
- Очень маленькая ширина реза (не более 30 мкм)
Отсутствие загрязнений
- Чистая поверхность, отсутствие осажденного слоя
- Дополнительная очистка требуется крайне редко
- Отсутствует необходимость в управлении фокусировкой благодаря большому рабочему расстоянию
Опции:
- Оси вращения
- Ось Z- автоматическая корректировка угла насадки
- Чиллер
- Вакуумный держатель
- Программное обеспечение для распознавания образцов + программное обеспечение для автоматизированного управления
- Водяная помпа высокого давления (800 бар)
- Рабочая головка для лазера большой мощности
Области применения:
- Изготовление часов
- Медицина
- Бытовая техника
- Изготовление инструментов
- Полупроводники
Технические характеристики:
